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J-GLOBAL ID：200903005039363779

ウエハー加熱装置

Inventor： 温井 健司
Applicant, Patent owner： 富士通株式会社
Agent (1)： 井桁 貞一
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1991172032
Publication number (International publication number)：1993021420
Application date： Jul. 12, 1991
Publication date： Jan. 29, 1993
Summary：

【要約】【目的】 ウエハー加熱装置に関し,マイクロ波を用いてウエハーを均一に加熱するウエハー加熱装置の提供を目的とする。【構成】 マイクロ波発振器1と, マイクロ波発振器1から出射するマイクロ波を導く導波管4と, 導波管4から出射するマイクロ波を分散させる凹レンズ5を有し, ウエハー6をその主面に垂直な中心線が凹レンズ5の光軸と一致するように配置して,ウエハー6に凹レンズ5を透過したマイクロ波を入射するウエハー加熱装置により構成する。また,前記凹レンズ5が石英からなるウエハー加熱装置により構成する。

Claim (excerpt)：

マイクロ波発振器(1) と, 該マイクロ波発振器(1) から出射するマイクロ波を導く導波管(4) と, 該導波管(4) から出射するマイクロ波を分散させる凹レンズ(5) を有し,ウエハー(6) をその主面に垂直な中心線が該凹レンズ(5) の光軸と一致するように配置して,該ウエハー(6) に該凹レンズ(5) を透過したマイクロ波を入射することを特徴とするウエハー加熱装置。

IPC (6)：

H01L 21/31 ,  C23C 16/46 ,  F26B 23/08 ,  H01L 21/22 ,  H01P 3/08 ,  H05H 1/46