Pat

J-GLOBAL ID：200903005049012788

感放射線性樹脂組成物

Inventor： 銅木 克次 ,  梶田 徹 ,  下川 努
Applicant, Patent owner： ジェイエスアール株式会社
Agent (1)： 福沢 俊明
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：2000107183
Publication number (International publication number)：2001290274
Application date： Apr. 07, 2000
Publication date： Oct. 19, 2001
Summary：

【要約】【課題】 化学増幅型レジストとして、特にパターン形状に優れ、かつ感度、解像度等を含めた特性バランスにも優れた感放射線性樹脂組成物を提供する。【解決手段】 (A)アルカリ不溶性またはアルカリ難溶性の酸解離性基含有樹脂であって、該酸解離性基が解離したときアルカリ可溶性となる樹脂、(B)感放射線性酸発生剤、並びに(C)下記一般式(1)で表される化合物を含有することを特徴とする感放射線性樹脂組成物。【化1】〔一般式(1)において、R1 およびR2 は相互に独立に水素原子、置換もしくは非置換の炭素数1〜20のアルキル基、または-CH2 COOR3 (但し、R3 は炭素数1〜18のアルキル基を示す。)を示す。〕

Claim (excerpt)：

(A)アルカリ不溶性またはアルカリ難溶性の酸解離性基含有樹脂であって、該酸解離性基が解離したときアルカリ可溶性となる樹脂、(B)感放射線性酸発生剤、並びに(C)下記一般式(1)で表される化合物を含有することを特徴とする感放射線性樹脂組成物。【化1】〔一般式(1)において、R1 およびR2 は相互に独立に水素原子、置換もしくは非置換の炭素数1〜20のアルキル基、または-CH2 COOR3 (但し、R3 は炭素数1〜18のアルキル基を示す。)を示す。〕

IPC (12)：

G03F 7/039 601 ,  C08F 32/00 ,  C08F220/00 ,  C08F222/06 ,  C08K 5/00 ,  C08K 5/092 ,  C08K 5/12 ,  C08L 33/00 ,  C08L 35/00 ,  C08L 45/00 ,  C08L101/00 ,  H01L 21/027

FI (12)：

G03F 7/039 601 ,  C08F 32/00 ,  C08F220/00 ,  C08F222/06 ,  C08K 5/00 ,  C08K 5/092 ,  C08K 5/12 ,  C08L 33/00 ,  C08L 35/00 ,  C08L 45/00 ,  C08L101/00 ,  H01L 21/30 502 R

F-Term (50)：

2H025AA01 ,  2H025AA02 ,  2H025AA03 ,  2H025AA09 ,  2H025AB16 ,  2H025AC04 ,  2H025AC08 ,  2H025AD03 ,  2H025BE00 ,  2H025BE07 ,  2H025BE10 ,  2H025BF02 ,  2H025BG00 ,  2H025BJ01 ,  2H025CB10 ,  2H025CB43 ,  2H025CB45 ,  2H025CB52 ,  2H025CC20 ,  2H025FA17 ,  4J002BG011 ,  4J002BG021 ,  4J002BH021 ,  4J002BK001 ,  4J002EB107 ,  4J002EB127 ,  4J002EF106 ,  4J002EH136 ,  4J002EQ017 ,  4J002EU037 ,  4J002EU187 ,  4J002EV297 ,  4J002EW177 ,  4J002GP03 ,  4J100AJ02Q ,  4J100AK32R ,  4J100AL02Q ,  4J100AR09P ,  4J100AR11P ,  4J100BA05P ,  4J100BA06P ,  4J100BA15P ,  4J100BA40P ,  4J100BC04P ,  4J100BC43P ,  4J100BC55P ,  4J100CA01 ,  4J100CA04 ,  4J100CA05 ,  4J100JA37