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J-GLOBAL ID：200903005053807566

透過及び反射を利用した被測定物の光学特性の決定

Inventor： ラルフ・ストルテ ,  パトリク・ジーグラー
Applicant, Patent owner： アジレント・テクノロジーズ・インク
Agent (1)： 古谷 馨 (外3名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：2002217098
Publication number (International publication number)：2003130759
Application date： Jul. 25, 2002
Publication date： May. 08, 2003
Summary：

【要約】【課題】光ビームの透過方向及び反射方向の両方向の測定を利用してDUTの光学特性をより容易に決定することが可能な手段を提供する。【解決手段】本発明は、光ビームの透過及び反射を利用して測定対象デバイス(DUT)の光学特性、例えば、偏光依存性損失(PDL)、偏光モード分散(PMD)、群遅延時間差(DGD)、挿入損失、反射減衰量及び/または色分散(CD)を決定することに関連する。本発明は、少なくとも部分的に透過性で、かつ、少なくとも部分的に反射性であるエレメント(要素)を開示する。

Claim (excerpt)：

測定装置(400、500)に反射の基準信号を加えて、光ビーム(22、80)の透過及び反射における(または透過及び反射を利用して)被測定物(6)の光学特性を決定するための素子(12)であって、少なくとも部分的に透過性で、少なくとも部分的に反射性であることからなる、素子。

IPC (3)：

G01M 11/00 ,  G01N 21/41 ,  G01N 21/59

FI (3)：

G01M 11/00 T ,  G01N 21/41 Z ,  G01N 21/59 Z

F-Term (16)：

2G059AA02 ,  2G059BB20 ,  2G059EE01 ,  2G059EE02 ,  2G059EE05 ,  2G059EE12 ,  2G059FF08 ,  2G059GG01 ,  2G059GG04 ,  2G059JJ04 ,  2G059JJ17 ,  2G059JJ19 ,  2G059JJ22 ,  2G059KK03 ,  2G086KK01 ,  2G086KK07