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J-GLOBAL ID:200903005053938130
回路基板検査装置
Inventor:
Applicant, Patent owner:
Agent (1):
酒井 伸司
Gazette classification:公開公報
Application number (International application number):1999045952
Publication number (International publication number):2000241484
Application date: Feb. 24, 1999
Publication date: Sep. 08, 2000
Summary:
【要約】【課題】 検査対象回路基板および検査用プローブの損傷を招くことなく検査可能な回路基板検査装置を提供する。【解決手段】 検査対象の回路基板Pについて所定の電気的検査を実行するための検査用プローブ18と、少なくとも回路基板Pにおける検査部位を検査用プローブ18に対して接近または離隔させることにより所定の検査位置に位置決めする位置決め機構14とを備えている回路基板検査装置1において、位置決め機構14は、気体を吐出することにより生じる負圧または正圧によって検査部位を検査用プローブ18に対して接近または離隔可能に構成されている。
Claim (excerpt):
検査対象の回路基板について所定の電気的検査を実行するための検査用プローブと、少なくとも前記回路基板における検査部位を前記検査用プローブに対して接近または離隔させることにより所定の検査位置に位置決めする位置決め機構とを備えている回路基板検査装置において、前記位置決め機構は、気体を吐出することにより生じる負圧または正圧によって前記検査部位を前記検査用プローブに対して接近または離隔可能に構成されていることを特徴とする回路基板検査装置。
IPC (3):
G01R 31/02
, G01R 1/06
, G01R 31/28
FI (3):
G01R 31/02
, G01R 1/06 E
, G01R 31/28 K
F-Term (16):
2G011AA02
, 2G011AC02
, 2G011AC06
, 2G011AC14
, 2G011AE01
, 2G014AA13
, 2G014AB59
, 2G014AC10
, 2G032AA00
, 2G032AF04
, 2G032AL03
, 9A001HH34
, 9A001JJ45
, 9A001KK37
, 9A001KK54
, 9A001LL05
Patent cited by the Patent:
Cited by examiner (6)
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コンタクトプローブ移動式回路基板両面検査装置
Gazette classification:公開公報
Application number:特願平5-179483
Applicant:松下電器産業株式会社
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ウエハ移送装置
Gazette classification:公開公報
Application number:特願平7-291465
Applicant:神鋼電機株式会社
-
板状体の保持装置
Gazette classification:公開公報
Application number:特願平5-161203
Applicant:株式会社日立製作所
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特開昭62-105831
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特開昭62-081725
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板状物の作業位置への非接触連続搬送装置
Gazette classification:公開公報
Application number:特願平8-193320
Applicant:日本電気硝子株式会社
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