エッチング加工部品の製造方法

Inventor：
Applicant, Patent owner：
Agent (1)：佐藤一雄 (外3名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1994284145
Publication number (International publication number)：1995180072
Application date： Sep. 29, 1984
Publication date： Jul. 18, 1995
Summary：

【要約】 (修正有)【目的】エッチング速度が飛躍的に向上し、アラビ発生が防止されたエッチング加工部品の製造方法を提供する。【構成】冷間圧延によって製造される板厚0.020〜0.40mmの42%Ni-Fe合金よりなるエッチング加工用のニッケル-鉄合金素材であって、該素材中の炭素含有量が0.01%以下のエッチング加工用素材の表面にレジストパターンを形成し、次いで、前記エッチング加工用素材をエッチングするに際して、前記炭素含有量が0.02%のエッチング加工用素材をエッチングする場合と比較して25〜30%速いエッチング速度で前記エッチング加工用素材のエッチングを行うようにしたことを特徴とする、エッチング加工部品の製造方法。

Claim (excerpt)：

冷間圧延によって製造される板厚0.020〜0.40mmの42%Ni-Fe合金よりなるエッチング加工用のニッケル-鉄合金素材であって、該素材中の炭素含有量が0.01%以下のエッチング加工用素材の表面にレジストパターンを形成し、次いで、前記エッチング加工用素材をエッチングするに際して、前記炭素含有量が0.02%のエッチング加工用素材をエッチングする場合と比較して25〜30%速いエッチング速度で前記エッチング加工用素材のエッチングを行うようにしたことを特徴とする、エッチング加工部品の製造方法。

IPC (5)：

C23F 1/00 , C22C 38/00 302 , C22C 38/08 , C23F 1/28 , H01L 23/50

Patent cited by the Patent：

Cited by examiner (3)

特開昭61-064853
特開昭60-033337
特開昭61-117856

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