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J-GLOBAL ID：200903005055997524
位置合わせ方法
Inventor：
,
Applicant, Patent owner：
Agent (1)：
大森 聡
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1992263439
Publication number (International publication number)：1994120310
Application date： Oct. 01, 1992
Publication date： Apr. 28, 1994
Summary：
【要約】【目的】 位置合わせ対象物の特徴部の画像が最初の観察画像から外れた場合でもその位置合わせ対象物の画像を迅速に検索する。【構成】 観察画像1内の位置合わせ対象物の画像2の特徴部2aを含む領域を第1のテンプレート3として登録し、観察画像1の全体を第2のテンプレート17として登録する。第1のテンプレート3によるパターンマッチングで対象が得られなかった場合には、広い領域を低倍率で観察した画像と同じ割合で圧縮した第2のテンプレート17とでパターンマッチングを行い、得られた対象の位置ずれを修正し、倍率を元に戻してから第1のテンプレートによるサーチを行う。
Claim (excerpt)：
予め2次元的な画像情報として登録したテンプレートと合致するパターンを位置合わせ対象物に対応した対象画像上の所定の大きさの領域内で検索し、該検索したパターンの前記領域内での位置に基づいて前記位置合わせ対象物の位置合わせを行う方法において、第1のテンプレートと前記第1のテンプレートより広い領域の第2のテンプレートとを登録する第1の工程と、前記第1のテンプレートを含むように設定した前記所定の大きさの領域内で前記第1のテンプレートにより検索する第2の工程と、前記第2の工程で前記所定の大きさの領域内に前記第1のテンプレートと合致するパターンが見つからなかった場合に、前記所定の大きさの領域よりも広い領域を検索対象領域とし、該領域を前記所定の領域と同じ大きさに縮小すると共に、前記第2のテンプレートを前記領域の縮小に対応させて縮小し、この縮小した第2のテンプレートによって前記縮小した領域内を検索する第3の工程と、該第3の工程で前記縮小した領域内に前記第2のテンプレートと合致するパターンが見つかった場合に、該パターンの前記領域内での位置に基づいて前記位置合わせ対象物の位置合わせを行う第4の工程と、再び前記所定の大きさの領域内で前記第1のテンプレートと合致するパターンを検索する第5の工程と、を有し、該第5の工程で検索された前記第1のテンプレートと合致するパターンの前記所定の大きさの領域内での位置に基づいて前記位置合わせ対象物の位置合わせを行う事を特徴とする位置合わせ方法。
IPC (6)：
H01L 21/66
, G01B 15/00
, G06F 15/62 405
, G06F 15/70 455
, H01J 37/22
, H01L 21/68
