Pat
J-GLOBAL ID：200903005064906450
エッチング液の能力維持方法及び再生方法並びに能力維持、再生方法
Inventor：
Applicant, Patent owner：
Agent (1)：
津田 直久
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1992296757
Publication number (International publication number)：1994146020
Application date： Nov. 06, 1992
Publication date： May. 27, 1994
Summary：
【要約】【目的】 稼働中のエッチング装置に連動しながらエッチング液のエッチング能力を連続的に維持できるようにする。【構成】 多孔質材料から成る陽極をもち、陽極を挟んで両側に入口及び出口をもった陽極室と、陰極及びアルカリ性水溶液の電解液をもった陰極室と、これら陽極室と陰極室とを区画するイオン交換膜とをもった電解槽を用い、第一鉄イオンと第二鉄イオンとを含むエッチング液を、表面積の大きい多孔質から成る陽極を通過させて、陽極反応を促進させながら副生成物を生成することなく連続した能力の回復維持をすると共に、アルカリ性水溶液によりエッチング液の第一鉄イオンや第二鉄イオンなどの金属陽イオンが一部陰極室に移動しても、水酸化物として沈殿させ、陰極表面における金属の析出を防止して陰極反応を続け、効率よく連続した能力維持を可能にする。
Claim (excerpt)：
第二鉄イオンを主成分とし、該第二鉄イオンで被エッチング金属をエッチングするエッチング液の能力維持方法であって、多孔質材料から成る陽極をもち、該陽極を挟んで両側に入口及び出口をもった陽極室と、陰極及びアルカリ性水溶液の電解液をもった陰極室と、これら陽極室と陰極室とを区画するイオン交換膜とをもった電解槽を用い、前記陽極室の入口側から第一鉄イオンと第二鉄イオンとを含むエッチング液を供給し、前記陽極を通過させて出口に流しながら、前記陰極と陽極との間に直流電流を流し、第一鉄イオンを第二鉄イオンに連続的に酸化させ、エッチング液のエッチング能力を維持することを特徴とするエッチング液の能力維持方法。
IPC (2)：
Return to Previous Page
