Pat

J-GLOBAL ID：200903005077279455

感光性重合体組成物及びそれを用いたレリ-フパターンの製造法、電子部品。

Inventor： 山崎 範幸 ,  金谷 雄一
Applicant, Patent owner： 日立化成デュポンマイクロシステムズ株式会社
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：2004128212
Publication number (International publication number)：2005309215
Application date： Apr. 23, 2004
Publication date： Nov. 04, 2005
Summary：

【課題】 金属塩の生成を抑制し、金属層の防錆効果、イオンマイグレーション防止効果、基板との接着性向上等を示す感光性重合体組成物及びそれを用いたレリ-フパタ-ンの製造法、電子部品を提供する。 【解決手段】 (a)アルカリ水溶液可溶性のポリイミド前駆体又はポリイミド、(b)光により酸を発生する化合物、及び(c)環状化合物を含有してなる感光性重合体組成物。前記感光性重合体組成物を支持基板上に塗布し乾燥する工程、露光する工程、現像する工程、加熱処理する工程を含むレリ-フパターンの製造法及び電子部品。【選択図】 なし

Claim (excerpt)：

(a)アルカリ水溶液可溶性のポリイミド前駆体又はポリイミド、(b)光により酸を発生する化合物、及び(c)環状化合物を含有してなる感光性重合体組成物。

IPC (4)：

G03F7/004 ,  G03F7/023 ,  G03F7/037 ,  H01L21/027

FI (4)：

G03F7/004 501 ,  G03F7/023 ,  G03F7/037 501 ,  H01L21/30 502R

F-Term (11)：

2H025AA00 ,  2H025AA10 ,  2H025AA14 ,  2H025AB16 ,  2H025AB17 ,  2H025AC01 ,  2H025AD03 ,  2H025BE01 ,  2H025CB25 ,  2H025CC20 ,  2H025FA17

Patent cited by the Patent：

Cited by applicant (5)

• 特公昭52-30207号公報
  
• 特公平3-36861号公報
  
• 特開昭60-157286号公報
  
• 特開平1-174439号公報
  
• 特開平2-228359号公報