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J-GLOBAL ID：200903005077752428

プラスチック材料からなるワークピースを金属層により被覆する方法および装置

Inventor： グレゴール シュトラーサー ,  マイケル ヘネシー
Applicant, Patent owner： バルツェルス アクチェンゲゼルシャフト ,  プロデューサーズ カラー サービス,インコーポレイティド
Agent (1)： 石田 敬 (外3名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1994065136
Publication number (International publication number)：1995003449
Application date： Apr. 01, 1994
Publication date： Jan. 06, 1995
Summary：

【要約】【目的】 減圧容器内において陰極スパッタ法を用いてプラスチック材料を金属層により被覆するプロセスを、金属層の良好な接着性および環境安定性を確保しつつ、経済的に改良する。【構成】 本発明によれば、減圧容器(2)内において金属層の主成分を強磁場スパッタしてプラスチック材料からなるワークピース(4)を金属層により被覆する方法において、スパッタをアルゴンと炭素含有ガスとの混合ガス雰囲気中において行うと共にスパッタをワークピース(4)を金属層により被覆する時間のうち少なくとも大部分の時間の間行うようにする段階を含む方法が提供される。

Claim (excerpt)：

減圧容器内において金属層の主成分を強磁場スパッタしてプラスチック材料からなるワークピースを該金属層により被覆する方法において、上記スパッタをアルゴンと炭素含有ガスとの混合ガス雰囲気中において行うと共に該スパッタを上記ワークピースを金属層により被覆する時間のうち少なくとも大部分の時間の間行うようにする段階を含む方法。

IPC (4)：

C23C 14/34 ,  C23C 14/20 ,  C23C 14/35 ,  G11B 7/26