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J-GLOBAL ID:200903005079199149

シンチレータパネルおよび平面検出器

Inventor:
Applicant, Patent owner:
Agent (2): 樺澤 襄 ,  樺澤 聡
Gazette classification:公開公報
Application number (International application number):2006062542
Publication number (International publication number):2007240306
Application date: Mar. 08, 2006
Publication date: Sep. 20, 2007
Summary:
【課題】画像分解能が高く、解像度特性を向上できるシンチレータパネル11を提供する。【解決手段】ガラス基板12上にシンチレータ層15を形成し、シンチレータ層15を防湿層21で覆う。シンチレータ層15は、ガラス基板12の表面から柱状に成長された柱状結晶16を有する。柱状結晶16は、面方向に光学的に不連続でその充填率を70〜85%とする第1の部分19と、第1の部分19の表面側で面方向に連続して覆う第2の部分20とを一体に形成する。柱状結晶16の第1の部分19の充填率により、画像分解能が向上する。柱状結晶16の第2の部分20を一体形成により、防湿層21が柱状結晶16間に浸透するのを防止し、柱状結晶16間が光学的に接触しにくくし、画像分解能の低下を防止する。【選択図】図1
Claim (excerpt):
支持基板と、 この支持基板の表面から柱状に成長された面方向に光学的に不連続である第1の部分とこの第1の部分の表面側を面方向に連続して覆う第2の部分とが一体に形成された柱状結晶を有し、この柱状結晶の第1の部分の充填率が70〜85%であるシンチレータ層と、 このシンチレータ層の表面に形成された防湿層と を具備していることを特徴とするシンチレータパネル。
IPC (5):
G21K 4/00 ,  G01T 1/20 ,  G01T 1/00 ,  H01L 31/09 ,  H01L 27/14
FI (8):
G21K4/00 A ,  G01T1/20 K ,  G01T1/20 B ,  G01T1/20 G ,  G01T1/20 E ,  G01T1/00 B ,  H01L31/00 A ,  H01L27/14 K
F-Term (33):
2G083AA04 ,  2G083AA08 ,  2G083BB01 ,  2G083CC01 ,  2G083CC02 ,  2G083DD11 ,  2G083DD16 ,  2G083EE02 ,  2G083EE03 ,  2G088EE01 ,  2G088FF02 ,  2G088GG16 ,  2G088GG19 ,  2G088GG20 ,  2G088JJ05 ,  2G088JJ09 ,  2G088JJ10 ,  2G088JJ37 ,  4M118AB01 ,  4M118CB11 ,  4M118HA02 ,  4M118HA11 ,  4M118HA23 ,  4M118HA24 ,  4M118HA40 ,  5F088AA01 ,  5F088BA07 ,  5F088BA11 ,  5F088BB07 ,  5F088GA02 ,  5F088HA15 ,  5F088HA20 ,  5F088LA08
Patent cited by the Patent:
Cited by applicant (1)

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