Pat
J-GLOBAL ID：200903005086879430
干渉計装置用載物台
Inventor：
Applicant, Patent owner：
Agent (1)：
川野 宏
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1999270288
Publication number (International publication number)：2001091233
Application date： Sep. 24, 1999
Publication date： Apr. 06, 2001
Summary：
【要約】【目的】 載物台の移動ステージに被検体を保持し、検査光を被検面に照射するタイプの干渉計装置において、干渉縞が得られる位置に移動ステージを調整した際にその位置が設定できる指標を設置し、この位置への移動ステージの再調整を簡易に行なえるようにする。【構成】 被検体を保持し昇降移動する載物台2の移動ステージ24と、移動しない固定部分との間に、干渉縞が得られたときの移動ステージ24の位置を指標位置として設定し得る指標50を設けてなる。移動ステージ24に設けた指針部材51と固定部分に設けた指標部材52とで指標50を形成し、一方を移動させて指標位置を設定する。
Claim (excerpt)：
可干渉距離の短い検査光束を分割して、一方を被検体の被検面に照射するとともに他方を測定の比較基準となる基準板に照射し、前記被検面および前記基準板からの前記検査光束の反射光を互いに干渉せしめて得られた干渉縞から前記被検体の形状情報を求める干渉計装置において、該被検体を載設する載物台を構成する前記被検面に照射する検査光軸方向に移動する移動ステージ、または該移動ステージを移動させるために移動する移動部材に第1の指標を設けるとともに、前記移動ステージまたは前記移動部材の移動方向に対して不動の不動部材に第2の指標を設け、前記両指標の関係を、前記干渉縞が得られたときのステージ指標として設定したことを特徴とする干渉計装置用載物台。
IPC (2)：
FI (2)：
F-Term (23)：
2F064AA09
, 2F064CC10
, 2F064EE01
, 2F064FF03
, 2F064GG12
, 2F064GG22
, 2F064GG23
, 2F064HH03
, 2F064HH08
, 2F064KK04
, 2F065AA54
, 2F065BB22
, 2F065FF01
, 2F065FF51
, 2F065GG07
, 2F065JJ03
, 2F065JJ26
, 2F065LL12
, 2F065LL37
, 2F065LL46
, 2F065MM02
, 2F065PP11
, 2F065UU04
