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J-GLOBAL ID：200903005097282959

基板搬送装置

Inventor： 上山 勉 ,  足立 秀喜 ,  矢彦 宏二
Applicant, Patent owner： 大日本スクリーン製造株式会社
Agent (1)： 吉田 茂明 (外2名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1993254819
Publication number (International publication number)：1995086375
Application date： Sep. 17, 1993
Publication date： Mar. 31, 1995
Summary：

【要約】【目的】 気流の影響を排して、高速度で基板を搬送することを可能にする。【構成】 基板Wがハウジング131内に収納された状態で搬送される。ハウジング131の外形断面はほぼ矩形であって、その各角部が曲線形状であるとともに、その側方には、上部がハウジング131上面より突出し、下面がハウジング131下面の角部に回り込むように形成された整流板135が配設される。【効果】 基板がハウジング内に収納されて搬送されるので、外部の気流の影響を受けず、高速搬送が可能になる。また、整流板の作用により上方からの気流が円滑にハウジング側方に導かれ、確実にガイドされてハウジング下方角部の曲線に沿って円滑に排出されるため、気流の回り込みが生じにくい。これによりパーティクルの再浮上を防止して、効率よく高品質の基板を処理できる。

Claim (excerpt)：

基板処理部に基板を搬送する基板搬送装置において、前記基板が載置される基板載置手段と、前記基板処理部方向に進出した第1の位置と、前記基板処理部から後退した第2の位置との間で前記基板載置手段を移動させる駆動手段と、前記第2の位置において、前記基板載置手段および前記基板を収納するハウジングと、を備えたことを特徴とする基板搬送装置。

IPC (2)：

H01L 21/68 ,  B65G 49/07