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J-GLOBAL ID：200903005097291575

光起電力装置及び光起電力装置の製造方法

Inventor： 本多 友一 ,  武田 勝利
Applicant, Patent owner： 三洋電機株式会社
Agent (1)： 河野 登夫
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1994213796
Publication number (International publication number)：1996078714
Application date： Sep. 07, 1994
Publication date： Mar. 22, 1996
Summary：

【要約】【目的】 製造プロセスの簡素化を図れて低コスト化を実現でき、しかも、歩留りを向上できる光起電力装置及びその製造方法の提供。【構成】 青板ガラス1と透明電極(SnO2 膜)4との間、及び、透明電極(SnO2 膜)4と光電変換層たるa-Si膜7との間に、Si(NCO)4 +H2 Oの低温CVD法により形成した第1のSiO2 層2及び第2のSiO2 層6を設ける。また、第1のSiO2 層2と透明電極4との間、及び、透明電極4と第2のSiO2 層6との間に、第1,第2のSiO2 層2,6側から透明電極4側に向かうにつれてSnO2 の含有率を増加させた第1,第2の界面層(SiO2 /SnO2 混在層)3,5を設ける。

Claim (excerpt)：

ガラス基板上に、SnO2 を主成分とする透明電極,アモルファスシリコン膜をこの順に有する光起電力装置において、前記ガラス基板と前記透明電極との間、及び/または、前記透明電極と前記アモルファスシリコン膜との間に、SiO2 層を設けたことを特徴とする光起電力装置。

IPC (2)：

H01L 31/04 ,  G02F 1/1343

FI (2)：

H01L 31/04 N ,  H01L 31/04 M

Patent cited by the Patent：

Cited by examiner (5)

• 特開平2-168507
  
• 特開昭61-222282
  
• 特開昭55-121685
  
• 特開昭58-209171
  
• 特開昭59-039714