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J-GLOBAL ID：200903005102204295

走査型顕微鏡

Inventor： 田村 泰孝
Applicant, Patent owner： 富士通株式会社
Agent (1)： 石川 泰男
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1992049920
Publication number (International publication number)：1993249209
Application date： Mar. 06, 1992
Publication date： Sep. 28, 1993
Summary：

【要約】【目的】 試料の加工及びリード線の取り付けが不要で、導電性の無い試料を含めて広範囲の試料の物理的性質を2次元的に非接触で観察できるようにする。【構成】 試料10を載せる試料台11の周りに、スクイド磁束計12のピックアップコイル12aを巻き、試料10の磁気変化をスクイド磁束計12で検出する。電子ビーム源13から放射された電子ビームは、ビーム偏向機構14を通って試料10の表面に当たる。ビーム偏向機構14は走査制御部15からの偏向信号及びブランキング信号を受けて作動する。このため、電子ビームは試料表面で断続されながら2次元的に走査される。スクイド磁束計12の出力側には信号処理部16を備える。信号処理部16は走査制御部15からの偏向信号及びブランキング信号を受け、ビームスポット位置毎の磁化率変化を2次元的に表示する。

Claim (excerpt)：

試料(10)の表面の微小領域にエネルギを与えて、その微小領域の磁気的変化に帰する物理状態を可逆的に変化させるエネルギ付与手段(13)と、このエネルギ付与手段(13)がエネルギを与える微小領域の位置を2次元的に変化させる走査手段(14)と、上記試料に磁気的に結合され且つその試料(10)の磁気的変化に対応した信号を出力するスクイド磁束計(12)と、このスクイド磁束計(12)の出力信号と上記走査手段(14)から出力される上記微小領域の位置信号とに基づき上記試料の物理的性質に関する表面画像を生成する画像生成手段(16)とを備えたことを特徴とする走査型顕微鏡。

IPC (5)：

G01R 33/035 ZAA ,  A61B 5/055 ,  G01N 27/72 ,  G01R 33/10 ,  G01R 33/12