基板処理装置およびフィルタ交換方法

Inventor：
Applicant, Patent owner：
Agent (1)：川崎実夫 (外2名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：2001224848
Publication number (International publication number)：2003037144
Application date： Jul. 25, 2001
Publication date： Feb. 07, 2003
Summary：

【要約】【課題】自動搬送台車の運転を停止させることなくフィルタ交換を行うことができる基板処理装置、および自動搬送台車の運転を停止させることなくフィルタ交換を行う方法を提供する。【解決手段】フィルタ板27は、インデクサユニット20の上部に設けられたFFU収容空間24に対して、カセットステーション30に置かれたカセットCの配置方向であるX方向に挿抜できるようになっている。

Claim (excerpt)：

複数枚の基板を収容するカセットが所定の方向に複数配置されるカセットステーションと、このカセットステーションに配置されたカセットに対して基板を搬送する基板搬送機構と、この基板搬送機構の上方に設けられ、フィルタを通して上記基板搬送機構の周囲にクリーンエアを供給するエア供給手段とを含み、上記エア供給手段のフィルタは、上記基板搬送機構の上方の所定のセット位置に対して、上記カセットステーションにおいて上記複数のカセットが配置されている方向に沿って出し入れ可能であることを特徴とする基板処理装置。

F-Term (11)：

5F031CA02 , 5F031CA05 , 5F031DA17 , 5F031FA01 , 5F031FA02 , 5F031FA11 , 5F031GA03 , 5F031GA43 , 5F031NA02 , 5F031NA10 , 5F031PA26

Patent cited by the Patent：

Cited by examiner (6)

基板処理装置
Gazette classification：公開公報 Application number：特願平10-026214 Applicant：大日本スクリーン製造株式会社
基板処理装置
Gazette classification：公開公報 Application number：特願平9-311822 Applicant：大日本スクリーン製造株式会社
基板処理システム
Gazette classification：公開公報 Application number：特願平8-165634 Applicant：大日本スクリーン製造株式会社

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