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J-GLOBAL ID:200903005122757193

反射鏡

Inventor:
Applicant, Patent owner:
Agent (1): 柳田 征史 (外1名)
Gazette classification:公開公報
Application number (International application number):1991291413
Publication number (International publication number):1993127004
Application date: Nov. 07, 1991
Publication date: May. 25, 1993
Summary:
【要約】【目的】 保護層を有する銀反射鏡の分光反射特性を良好なものとする。【構成】 この反射鏡はガラス基板1上に5〜15nm厚のCr層2、10〜40nm厚のCu層3、100nm 厚のAg層4、69nm厚のAl2 O3 層5、57nm厚のZrO2 層6および20nm厚のSiO2 層7をこの順に積層してなるものである。Cr層2およびCu層3はガラス基板1とAg層4の密着性を強化するための密着強化層として作用する。Ag層4は入射光を反射するための層であり、Al2 O3 層5はこのAg層4の耐久性を向上させるための保護層である。ZrO2 層6は反射特性を良好とするための高屈折率誘電体層であり、この層を設けることによって分光反射特性を向上させることができる。なお、最上層のSiO2 層7は耐摩耗性を向上させるための保護層である。
Claim (excerpt):
基板上に銀層、酸化アルミニウム層および高屈折率誘電体層をこの順に積層してなることを特徴とする反射鏡。
IPC (3):
G02B 5/08 ,  B32B 7/02 103 ,  B32B 9/00
Patent cited by the Patent:
Cited by examiner (2)
  • 特開昭60-195502
  • 特開平4-186302

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