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J-GLOBAL ID：200903005124211260

ダイヤモンドの合成方法および合成装置

Inventor： 細谷 郁雄 ,  米山 恭弘
Applicant, Patent owner： 出光石油化学株式会社
Agent (1)： 渡辺 喜平
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1991023959
Publication number (International publication number)：1994135797
Application date： Jan. 24, 1991
Publication date： May. 17, 1994
Summary：

【要約】【目的】 直流(DC)プラズマ法において、炭素源ガスと接触しても陰極が溶融しないようにする。これによって原料ガスのリサイクルを可能としコストダウンを実現する。また、溶融した陰極がダイヤモンド中に不純物として混入することを防止し、ダイヤモンドの高品質化を実現する。【構成】 DCプラズマ法(またはDCプラズマ装置1)において、IVa族あるいはVa族から選ばれるいずれか一の金属あるいはこれらの金属を炭化して得られる炭化金属であって融点が3000°C以上の材料で形成された陰極2を用いる。これらの金属は炭化されると融点が上昇する。したがって、これらの金属あるいは炭化金属で陰極2を形成すると、陰極2が溶融しない。

Claim (excerpt)：

陽極および陰極間の直流アーク放電によって原料ガスを熱プラズマ化し、プラズマジェットとして基板に衝突させて急冷し基板上にダイヤモンドを気相成長させるダイヤモンドの合成方法において、少なくとも前記陰極の放電表面が、金属を炭化して炭化金属としたときの融点が3000°C以上となる金属または融点が3000°C以上の炭化金属で形成された陰極を用いてダイヤモンドの気相合成を行なうことを特徴としたダイヤモンドの合成方法。

IPC (5)：

C30B 29/04 ,  C23C 16/26 ,  C30B 25/02 ,  C30B 25/14 ,  C01B 31/30