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J-GLOBAL ID：200903005124406142

ジルコン酸チタン酸鉛薄膜の製造方法

Inventor： 高橋 誠治 ,  越智篤 ,  平野 真一
Applicant, Patent owner： 日本電気株式会社 ,  平野 真一
Agent (1)： 内原 晋
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1991240066
Publication number (International publication number)：1993043241
Application date： Sep. 20, 1991
Publication date： Feb. 23, 1993
Summary：

【要約】【目的】 高純度で組成が化学両論比に制御された低温で焼成できる、特に厚さが数100ないし数μmのジルコン酸チタン酸鉛薄膜の製造。【構成】 ジルコニウムアルコキシドとチタンアルコキシドのモル比が1-x:xとなるようにアルコール中で混合、溶解し、還流を行う。この溶液に酢酸鉛をPb:(Zr+Ti)=1:1となるように添加し、還流し、ジルコン酸チタン酸鉛の前駆体を作成し、必要に応じて得られた前駆体溶液に多価アルコール等添加し、アルコールを蒸発、濃縮し、該前駆体溶液で基板を被覆して450°C以下の温度で酸素水蒸気混合気流中で加熱焼成する工程を少なくとも一回以上繰り返し、当該基板上にジルコン酸チタン酸鉛薄膜を多層に積層せしめる。【効果】 酢酸根を含むアルコールを蒸発させることにより安定な前駆体溶液を合成できる。また、溶液濃度を調整でき、膜厚を正確に制御できる。

Claim (excerpt)：

酢酸鉛とジルコニウムアルコキシドとチタンアルコキシドをそのモル比が1:1-x:x(ただし1>x>0)となるように混合、反応させ、得られた溶液で基板表面を被覆して酸素水蒸気混合雰囲気中で加熱する工程を少なくとも一回以上繰り返し、当該基板上にジルコン酸チタン酸鉛薄膜を形成せしめることを特徴とするジルコン酸チタン酸鉛薄膜の製造方法。