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J-GLOBAL ID:200903005139801277

真空ポンプの冷却方法および冷却装置

Inventor:
Applicant, Patent owner:
Agent (1): ▲高▼橋 克彦
Gazette classification:公開公報
Application number (International application number):1996334925
Publication number (International publication number):1998159780
Application date: Nov. 30, 1996
Publication date: Jun. 16, 1998
Summary:
【要約】【課題】 ポンプハウジング内を有効に冷却し、ポンプハウジング内部の温度上昇による発熱が原因である、前記ロータおよびハウジングの熱膨張によるロータロックや、オイルシールの寿命低下、所要動力の増加等の問題を防止すること。【解決手段】 真空ポンプ1において、オイル室16に配設されたタイミングギヤ13によって構成され潤滑油を循環供給する潤滑油ポンプ2と、前記オイル室に連絡して潤滑油を供給する第1の循環用配管31と、該第1の循環用配管31を介して供給された潤滑油を冷却する冷却手段4と、該冷却された潤滑油によって前記ポンプハウジング10内を冷却するとともに、前記潤滑油を前記オイル室に圧送する第2の循環用配管32とから成る真空ポンプの冷却方法および冷却装置。
Claim (excerpt):
駆動用および従動用のロータが内蔵されたポンプハウジング内にタイミングギヤが配設されるオイル室を備えた真空ポンプにおいて、前記オイル室に配設されポンプとして作用するタイミングギヤによって潤滑油を循環供給し、該循環供給された潤滑油を冷却手段によって冷却し、該冷却された潤滑油によって前記ポンプハウジング内を冷却し、該ポンプハウジング内を冷却した前記潤滑油が前記オイル室に圧送されることを特徴とする真空ポンプの冷却方法。

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