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J-GLOBAL ID:200903005141436128

エキシマランプとその梱包品、およびエキシマランプ用放電容器とその梱包品

Inventor:
Applicant, Patent owner:
Agent (1): 五十畑 勉男
Gazette classification:公開公報
Application number (International application number):2002145012
Publication number (International publication number):2003257376
Application date: May. 20, 2002
Publication date: Sep. 12, 2003
Summary:
【要約】【課題】二重管構造のエキシマランプにおいて、内側管と側壁との接合部分にヒビ、クラックを発生させない構造を提供することである。【解決手段】長尺の外側管(2)と内側管(3)が概略同軸的に配置された二重管構造をなし、この外側管(2)の外表面には一方の電極(5)が設けられ内側管(3)の内表面に他方の電極(6)が設けられ、これら外側管(2)と内側管(3)の間に形成された放電空間(7)の中に誘電体バリア放電によってエキシマ分子を形成する放電用ガスが封入された構造において、前記内側管(3)は、前記外側管(2)に対して傾斜していることを特徴とする。
Claim (excerpt):
長尺の外側管と内側管が概略同軸的に配置されて二重管構造をなし、この外側管の外表面には一方の電極が設けられ内側管の内表面に他方の電極が設けられ、これら外側管と内側管の間に形成された放電空間の中にエキシマ分子を形成する放電用ガスが封入されたエキシマランプにおいて、前記内側管は、前記外側管に対して傾斜していることを特徴とするエキシマランプ。
Patent cited by the Patent:
Cited by applicant (6)
  • 高出力ビーム発生器
    Gazette classification:公開公報   Application number:特願平4-327819   Applicant:アセアブラウンボヴエリアクチエンゲゼルシヤフト
  • ガラス基板搬送用パレット
    Gazette classification:公開公報   Application number:特願平11-166314   Applicant:大日本印刷株式会社
  • 基板用カセット
    Gazette classification:公開公報   Application number:特願平7-011468   Applicant:シャープ株式会社
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