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J-GLOBAL ID：200903005145159315

ダイヤモンド単結晶膜の形成方法

Inventor： 柏谷 隆昭 ,  藤田 英樹
Applicant, Patent owner： 小野田セメント株式会社
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1993098986
Publication number (International publication number)：1994271398
Application date： Mar. 19, 1993
Publication date： Sep. 27, 1994
Summary：

【要約】【目的】 連続したダイヤモンド単結晶膜を簡便に形成する方法を提供することにある。【構成】 微細な傷を無数に付けた単結晶基板上にニッケル単結晶膜又はニッケル含有合金単結晶膜を成膜した後、該膜上に化学気相法によりダイヤモンド単結晶膜を形成させる。

Claim (excerpt)：

微細な傷を無数に付けた単結晶基板上にニッケル単結晶膜又はニッケル含有合金単結晶膜を成膜した後、該膜上に化学気相法によりダイヤモンド単結晶膜を形成することを特徴とするダイヤモンド単結晶膜の形成方法。

IPC (3)：

C30B 29/04 ,  C23C 16/26 ,  H01L 21/205