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J-GLOBAL ID:200903005152292500

回折格子を用いた位置合わせ方法およびその装置

Inventor:
Applicant, Patent owner:
Agent (1): 山川 政樹
Gazette classification:公開公報
Application number (International application number):1995292602
Publication number (International publication number):1997133508
Application date: Nov. 10, 1995
Publication date: May. 20, 1997
Summary:
【要約】【課題】 マスクとウエハとを回折格子ピッチの1/2の範囲内に設定でき、周期ずれしない高精度な位置合わせを実現する。【解決手段】 第1の光源50からの単色光を2つのプリアライメント回折格子8,9に入射し、その回折光を光電検出器56a,56bによって検出することによりマスク11とウエハ12の大まかな位置合わせを行う。第2の光源1からの2波長単色光をマスク回折格子6およびウエハ回折格子9に対して所定の入射角度で入射し、これら両回折格子から生じる2波長の単色光の光ヘテロダイン干渉回折光を検出して第1、第2のビート信号とする。これらのビート信号から位相差信号を算出し、この位相差信号に基づいてマスク11とウエハ12を相対的に移動させて正確に位置合わせする。
Claim (excerpt):
第1の物体に第1、第3の回折格子を設け、第2の物体に第2、第4の回折格子を設け、前記第1の回折格子に第1の単色光を入射させて第1の回折格子からの回折光を検出することにより第1の回折格子と前記第1の単色光のビームスポットとの位置合わせを行い、次に前記第2の物体を移動させて第2の回折格子を前記第1の単色光のビームスポット内に移動させることにより第2の回折格子からの回折光を検出して第2の回折格子と前記第1の単色光のビームスポットとを位置合わせすることで前記第1、第2の回折格子の位置合わせを行い、次に第3、第4の回折格子の相対位置を検出して第3の回折格子に対して第4の回折格子が格子ピッチ方向に一定の間隔を隔てて位置するように前記第1、第2の物体を相対的に移動させ、次に周波数が互いにわずかに異なる2波長からなる第2の単色光のビームスポットを前記第3、第4の回折格子に対して所定の入射角度で入射させ、第3の回折格子から生じる前記第2の単色光の光ヘテロダイン干渉回折光を検出して第1のビート信号とし、第4の回折格子から生じる第2の単色光の光ヘテロダイン干渉回折光を検出して第2のビート信号とし、これらのビート信号から位相差信号を算出し、この位相差信号に基づいて前記第1、第2の物体を相対的に移動させて第3、第4の回折格子を位置合わせすることを特徴とする回折格子を用いた位置合わせ方法。
IPC (2):
G01B 11/00 ,  H01L 21/027
FI (3):
G01B 11/00 G ,  H01L 21/30 522 D ,  H01L 21/30 525 W
Patent cited by the Patent:
Cited by examiner (2)
  • 特開平2-272305
  • 特開平2-272305

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