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J-GLOBAL ID:200903005161560232
放射線検出素子の製造方法
Inventor:
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Applicant, Patent owner:
Agent (1):
篠原 泰司 (外1名)
Gazette classification:公開公報
Application number (International application number):1992044811
Publication number (International publication number):1993243599
Application date: Mar. 02, 1992
Publication date: Sep. 21, 1993
Summary:
【要約】【目的】 テルル化カドミウム単結晶インゴットから製造される放射線検出素子の放射線検出特性や均一性を向上させ、製品歩留りのよい放射線検出素子の製造方法を提供する。【構成】 テルル化カドミウム単結晶の結晶成長後にウエハー状に加工された単結晶を真空排気された容器中で熱処理する。
Claim (excerpt):
テルル化カドミウム放射線検出素子の製造において、テルル化カドミウム単結晶の結晶成長後ウエハー状に加工された単結晶を真空排気された容器中で熱処理することを特徴とする放射線検出素子の製造方法。
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