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J-GLOBAL ID：200903005162158748

スパッタターゲットのバッキングプレート

Inventor： 入澤 一彦 ,  岡本 紀夫
Applicant, Patent owner： 日新電機株式会社
Agent (1)： 谷川 昌夫
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1992321625
Publication number (International publication number)：1994172988
Application date： Dec. 01, 1992
Publication date： Jun. 21, 1994
Summary：

【要約】【目的】 表面がターゲット支持面とされ、裏面がターゲットホルダにて覆われることで冷却水路を提供するスパッタターゲットのバッキングプレートであって、ターゲットの交換や冷却水の水圧に耐え得る強度を有し、且つ、ターゲット冷却効率の良いものを提供する。【構成】 表面がターゲット1の支持面とされ、裏面がターゲットホルダ4にて覆われることで冷却水路を提供するスパッタターゲットのバッキングプレート2であって、裏面にバッキングプレート補強用のフィン21を形成し、また、これによって冷却水路22を提供するスパッタターゲットのバッキングプレート2。

Claim (excerpt)：

表面がターゲット支持面とされ、裏面がターゲットホルダにて覆われることで冷却水路を提供するスパッタターゲットのバッキングプレートにおいて、前記裏面にバッキングプレート補強用のフィンを形成したことを特徴とするスパッタターゲットのバッキングプレート。

IPC (2)：

C23C 14/34 ,  C23F 4/00