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J-GLOBAL ID：200903005163893662
静電チャック
Inventor：
Applicant, Patent owner：
Agent (1)：
河野 登夫
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1997182814
Publication number (International publication number)：1999026564
Application date： Jul. 08, 1997
Publication date： Jan. 29, 1999
Summary：
【要約】【課題】 冷却効率が低下せずに試料台に温度勾配が生じない静電チャック。【解決手段】 静電チャック10は導電体からなる試料台11とその下側の冷却体と試料台1の表面を覆う絶縁膜とで構成されている。冷媒は、静電チャック底部の導入口から導入され、冷却体を構成する流路形成層内を順に上方向に通流して流入孔13a,13a...から冷却室12a内へ流れ込む。試料台11に接触した冷媒は最も近い流出孔から冷却室外へ流出し、冷却室内に長く留まらないので、試料台11の冷却効率が向上する。
Claim (excerpt)：
試料を吸着保持する試料台を冷却すべく、該試料台に連設された冷却体内に導入された冷媒が、前記冷却体内に形成された流路を通流した後、排出される静電チャックにおいて、前記冷却体は前記試料台の一面に臨む冷却室を備え、該冷却室の前記試料台に対向する面に、前記流路に連なる複数の流入孔と少なくとも1つの流出孔とを形成してあることを特徴とする静電チャック。
IPC (2)：
FI (2)：
H01L 21/68 R
, B23Q 3/15 D
