Pat

J-GLOBAL ID：200903005175205508

検出器およびその製造方法

Inventor： 木谷 智之 ,  竹中 みゆき ,  沖 充浩 ,  岡村 正巳
Applicant, Patent owner： 株式会社東芝 ,  東芝マテリアル株式会社
Agent (6)： 三好 秀和 ,  岩▲崎▼ 幸邦 ,  川又 澄雄 ,  伊藤 正和 ,  高橋 俊一 ,  高松 俊雄
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：2007103176
Publication number (International publication number)：2008261670
Application date： Apr. 10, 2007
Publication date： Oct. 30, 2008
Summary：

【課題】接続信頼性が高く、排気ガス中の成分や熱による機械的振動の影響を受けにくい耐久性の高い検出器を提供する。【解決手段】ガス検出部11と電極パッド部12とが設けられた半導体素子10を内部空間23に収納し、電極パッド部12と配線層31〜34との間に介在導電性接続材40を備え、半導体素子10の半導体材料と、外囲器20の構成材料と、導電性接続材40の主材料の線膨脹係数が近似するように設定した。【選択図】図2

Claim (excerpt)：

同じ主面に、接触するガス成分に応じて電気信号を生成するガス検出部と、前記電気信号を外部に出力する電極パッド部とが設けられたセンサ素子と、 パッケージ内部空間に前記センサ素子を収納し、内側に、前記電極パッド部に対向するように配線層が配置され、前記ガス検出部と対応する位置にガス導入孔が形成された外囲器と、 前記電極パッド部と前記配線層との間に介在された導電性接続材と、 前記ガス導入孔の形成領域を取り囲むように、前記ガス導入孔の形成領域の周辺部と、前記半導体素子の前記主面と、の間の隙間を気密に前記半導体素子と前記パッケージとが接続させる接続材と、 を具備することを特徴とする検出器。

IPC (1)：

G01N 27/12

FI (1)：

G01N27/12 M

F-Term (6)：

2G046AA03 ,  2G046AA07 ,  2G046AA13 ,  2G046BA02 ,  2G046BB04 ,  2G046BF05

Patent cited by the Patent：

Cited by applicant (2)

• ガスセンサ及びその製造方法
  Gazette classification：公開公報   Application number：特願2000-371840   Applicant：フィガロ技研株式会社
• ガスセンサ及びその製造方法
  Gazette classification：公開公報   Application number：特願2000-389168   Applicant：フィガロ技研株式会社