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J-GLOBAL ID：200903005176516434
電気回路検査方法及び装置
Inventor：
Applicant, Patent owner：
Agent (1)：
鈴木 利之
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1992357400
Publication number (International publication number)：1994196537
Application date： Dec. 24, 1992
Publication date： Jul. 15, 1994
Summary：
【要約】【目的】 非常に多数の電極が高密度かつ複雑に配列されているような電気回路をプローブカードを用いて効率良く検査できるようにする。【構成】 被検体10は、マルチチップモジュール(MCM)のための実装基板であり、多数の周辺電極12とチップ対応電極14との間には配線パターン16が形成されている。この配線パターン16のオープン/ショート試験や配線間容量の検査を、複数のプローブカードを用いて行う。プローブカードの窓18からは多数のプローブ針20が延びており、これらのプローブ針20は、接触すべき電極の位置に対応して固定的に配列されている。6枚のプローブカードはそれぞれ配列の異なるプローブ針を備えており、これらの6枚のプローブカードを順番に用いることによって、一つの被検体10の検査が完了する。
Claim 1：
プローブ針の配列が互いに異なる複数のプローブカードを準備し、これら複数のプローブカードを用いて一つの被検査回路を順に検査することを特徴とする電気回路検査方法。
IPC (3)：
H01L 21/66
, G01R 1/073
, G01R 31/28
