Pat

J-GLOBAL ID：200903005208925803

ヘリウム液化冷凍装置

Inventor： 原田 進 ,  上田 博信 ,  岡本 和夫
Applicant, Patent owner： 株式会社日立製作所
Agent (1)： 高田 幸彦
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1992005478
Publication number (International publication number)：1993196314
Application date： Jan. 16, 1992
Publication date： Aug. 06, 1993
Summary：

【要約】【目的】本発明は容量可変式膨張タービンの可変ノズルの開度を適正に制御して高効率な膨張タービンを提供し、冷凍能力の優れた制御性の良いヘリウム液化冷凍装置を提供することにある。【構成】ヘリウムガス分岐配管3に設けた流量計5の出力信号と、設定された冷凍モードでの流量を比較して、設定値になるように制御器23により容量可変式膨張タービン6,7の可変ノズルの開度を制御することによって達成される。【効果】ヘリウム液化冷凍装置の液化モードと冷凍モードに対応して、容量可変式膨張タービンの可変ノズルの開度を最適に制御でき、タービンの効率を高め、冷凍能力の優れた冷凍装置を提供できる効果がある。

Claim (excerpt)：

ヘリウムガスを圧縮循環させる圧縮機と、前記圧縮機に接続されて、圧縮された前記ヘリウムガスと冷凍負荷で気化したヘリウムガスとの間で熱交換を行わせる熱交換器と、前記ヘリウムガスを断熱膨張させるノズル面積を可変できる容量可変式膨張タービンと、ヘリウムガスを液化させるジュールトムソン膨張弁を備えたヘリウム液化冷凍装置において、前記膨張タービンに流量計を設け、前記流量計の出力信号に応じて前記膨張タービンのノズル面積を変化させる制御装置を設けたことを特徴とするヘリウム液化冷凍装置。