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J-GLOBAL ID：200903005214918452

空間光変調器とその製法

Inventor： ラリイ ジエイ.ホーンベツク
Applicant, Patent owner： テキサス インスツルメンツ インコーポレイテツド
Agent (1)： 浅村 皓 (外2名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1992187098
Publication number (International publication number)：1993188308
Application date： Jul. 30, 1985
Publication date： Jul. 30, 1993
Summary：

【要約】【目的】 この発明は、新規な構成の撓むことが出来るはりを持つ空間光変調器及びその製法を提案することを目的とする。【構成】 基板に立設された上端解放の筒状支持柱に4つの素子がクローバ状に丁番結合される。該各素子は基板と素子との間に印加される電圧に応じて変形し、もって入力光を変調する。

Claim (excerpt)：

電気アドレス回路をもつ基板と、該基板に立設される支持柱と、該支持柱の上端へ丁番結合された導電性の素子とを備えて成り、該素子はそれと前記基板との間に印加される電圧に応じて変形する構成の空間光変調器。

Patent cited by the Patent：

Cited by examiner (2)

• 特開昭57-126164
  
• 特開昭51-022373