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J-GLOBAL ID：200903005220527767

露光装置、露光方法及びデバイス製造方法

Inventor： 宇田川 仁
Applicant, Patent owner： 株式会社ニコン
Agent (1)： 渡部 温 (外1名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：2000366847
Publication number (International publication number)：2002170761
Application date： Dec. 01, 2000
Publication date： Jun. 14, 2002
Summary：

【要約】【課題】 より安定した露光を行うことができる露光装置等を提供する。【解決手段】 露光装置の各部に取り付けられた温度センサ33から温度データを測定する。温度を許容範囲内に制御するため、温度モニタ装置35からコントローラ31に温度信号を送信する。露光装置の各部に急激な温度変化が生じると、警報装置39の警報が鳴り、コントローラ31が異常部の温度勾配を所定以下にし、各部の温度を正常に戻すように制御する。あるいは、コントローラ31が露光装置のキャリブレーションを行う。

Claim 1：

感応基板上にパターンを転写する露光装置であって、装置各部の温度を常時モニタする手段と、該手段から温度信号を入力されて露光装置各部の運転状態を制御する制御部と、を備え、モニタされた温度の勾配が設定値を越えた場合に、以下の1以上を行うことを特徴とする露光装置;(1)オペレータに対して警報動作を行う、(2)露光運転を停止する、(3)装置のキャリブレーションを行う。

IPC (3)：

H01L 21/027 ,  G03F 7/20 504 ,  G03F 7/20 521

FI (4)：

G03F 7/20 504 ,  G03F 7/20 521 ,  H01L 21/30 541 U ,  H01L 21/30 502 H

F-Term (13)：

2H097BA02 ,  2H097CA16 ,  2H097LA10 ,  5F046DA26 ,  5F046DA30 ,  5F046DB02 ,  5F046DD06 ,  5F056BA10 ,  5F056BB10 ,  5F056BC02 ,  5F056BC05 ,  5F056CB40 ,  5F056CD05