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J-GLOBAL ID：200903005222844140
電界放出型電子源装置及びその製造方法
Inventor：
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Applicant, Patent owner：
Agent (1)：
川口 義雄 (外1名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1995059405
Publication number (International publication number)：1996255557
Application date： Mar. 17, 1995
Publication date： Oct. 01, 1996
Summary：
【要約】【目的】 電子放出部に破壊が生じることがないように、冷陰極とゲート電極との間のリーク電流を低減し、又は動作電圧が破壊に至らないように冷陰極からの放出電流を低減し、歩留まり低下や信頼性低下を引さ起こすことがない電界放出型電子源装置及びその製造方法を提供する。【構成】 電解型電子源放出装置の個々の電子源は、電子を放出するための冷陰極10と絶縁層12と抵抗層13と第1のゲート電極部14aと第2のゲート電極部14bとを含む。抵抗層13は、ゲート電極部14a、14bに直列に接続されている。冷陰極とゲート雷極との間にリーク電流が流れ易くなっても、個々の電子源のゲート電極に抵抗を直列に接続した構造のために、リーク電流が制限されるので、電子放出部に破壊が生じ難くすることができる。
Claim (excerpt)：
基板上の突出した部分からなる陰極と、前記陰極の突出した先端部分に近接して、前記陰極から電子を引き出すために設けられたゲート電極とを含む、高電界において電子を放出する電界放出型電子源装置であって、前記ゲート電極と直列に接続された抵抗をさらに含む電界放出型電子源装置。
IPC (3)：
H01J 1/30
, H01J 9/02
, H01J 31/12
H01J 1/30 C
, H01J 9/02 B
, H01J 9/02 C
, H01J 31/12 B
