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J-GLOBAL ID：200903005242683789
枚葉式成膜方法及び装置
Inventor：
Applicant, Patent owner：
Agent (1)：
石戸 元
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1992114131
Publication number (International publication number)：1993291154
Application date： Apr. 06, 1992
Publication date： Nov. 05, 1993
Summary：
【要約】【目的】 ウェーハの加熱時間を短縮し、反応ガスによる石英窓の汚れを軽減する。【構成】 チャンバ1上面の石英窓6の上部にウェーハ4を加熱するランプ5を設置し、このランプ5と石英窓6間に、ランプ5による加熱を遮断するシャッタ7を開閉可能に設ける。
Claim (excerpt)：
チャンバ(1)内にサセプタ(2)を設置し、このサセプタ(2)の下方に加熱源(3)を設け、この加熱源(3)によりサセプタ(2)上に載置したウェーハ(4)をサセプタ(2)を介し低圧反応ガス雰囲気中で加熱してウェーハ(4)上に成膜する枚葉式成膜方法において、チャンバ(1)内のサセプタ(2)上にウェーハ(4)を移載してから成膜開始前迄,ウェーハ(4)をチャンバ(1)上部のランプ(5)によりチャンバ(1)上面の石英窓(6)を通して加熱し、成膜後はランプ(5)による加熱をシャッタ(7)により遮断するようにしたことを特徴とする枚葉式成膜方法。
IPC (2)：
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