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J-GLOBAL ID：200903005245992073

ウエーハ搬送装置

Inventor： 河合 禎
Applicant, Patent owner： 日新電機株式会社
Agent (1)： 原 謙三
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1992009878
Publication number (International publication number)：1993198658
Application date： Jan. 23, 1992
Publication date： Aug. 06, 1993
Summary：

【要約】【構成】 ウエーハ搬送装置は、ウエーハフォーク7と共に上下移動し、載置溝5aの位置を検出する載置溝位置検出手段と、上記載置溝5aの位置に対応した位置にウエーハフォーク7の位置を設定する制御手段とを有している構成である。【効果】 制御手段によってウエーハフォーク7の位置が載置溝5a内に設定されるため、カセット5が機械的ストレス等によって大きな歪みを生じた場合でも、載置溝5aに対しウエーハ6を着脱できる位置にウエーハフォーク7の位置決めができる。

Claim 1：

ウエーハが装着される載置溝を有するカセットからウエーハを着脱するウエーハフォークを上下移動させてカセットの各載置溝に対するウエーハフォークの位置決めを行なうウエーハ搬送装置において、上記ウエーハフォークと共に上下移動し、載置溝の位置を検出する載置溝位置検出手段と、上記載置溝の位置に対応した位置にウエーハフォークの位置を設定する制御手段とを有していることを特徴とするウエーハ搬送装置。

IPC (2)：

H01L 21/68 ,  B65H 1/28 321

Patent cited by the Patent：

Cited by examiner (5)

• 特開昭61-184841
  
• 特開昭62-208619
  
• 特開平2-271643
  
• 特開平3-273606
  
• 特開昭60-072241