単結晶の取り出し装置および取り出し方法

Inventor：
Applicant, Patent owner：
Agent (1)：森道雄 (外1名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1997114866
Publication number (International publication number)：1998310491
Application date： May. 02, 1997
Publication date： Nov. 24, 1998
Summary：

【要約】【課題】単結晶の長尺化に際して、引上げ装置の改造を必要とせず、安全作業上も支障を生ずることがない。【解決手段】(1)単結晶を昇降させる装置7と、前記プルチャンバーを昇降および旋回させる装置6と、引上げ装置を設置する固定床10と、その固定床の上方であってプルチャンバーの旋回位置に開口部12を設けた作業架台11と、この作業架台上で前記単結晶を運搬する手段とを備え、プルチャンバー4によって作業架台11に設けられた開口部12を通して保持された単結晶を冷却することを特徴とする単結晶の取り出し装置である。(2)引上げ装置の上部に配設されたプルチャンバー4に単結晶を収容してのち、作業架台11に設けられた開口部12に単結晶が対向するようにプルチャンバー4を旋回および下降させ、次いで単結晶を開口部12を通して下降させて単結晶を作業架台下に保持する状態で冷却し、冷却後に単結晶を搬出することを特徴とする単結晶の取り出し方法である。

Claim (excerpt)：

チョクラルスキー法によって成長された単結晶をメインチャンバーおよびプルチャンバーから構成される引上げ装置から取り出す装置であって、前記単結晶を昇降させる装置と、前記プルチャンバーを昇降および旋回させる装置と、引上げ装置を設置する固定床と、その固定床の上方であってプルチャンバーの旋回位置に開口部を設けた作業架台と、この作業架台上で前記単結晶を運搬する手段とを備え、プルチャンバーによって作業架台に設けられた開口部を通して保持された単結晶を冷却することを特徴とする単結晶の取り出し装置。

IPC (3)：

C30B 15/30 , C30B 15/20 , C30B 29/06 502

FI (3)：

C30B 15/30 , C30B 15/20 , C30B 29/06 502 Z

Patent cited by the Patent：

Cited by examiner (3)

特開平4-042899
特開平3-218933
特開昭63-319287

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