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J-GLOBAL ID:200903005260037630

脆性材料の固定方法

Inventor:
Applicant, Patent owner:
Agent (1): 小池 晃 (外2名)
Gazette classification:公開公報
Application number (International application number):1994269371
Publication number (International publication number):1996130271
Application date: Nov. 02, 1994
Publication date: May. 21, 1996
Summary:
【要約】【構成】 脆性材料から成る部材1の基板2側の主面5上に形成された、弾性材料から成る膜4と、基板2上に形成された支柱3とを超音波により接合して、上記部材1と基板2とを固定する。【効果】 脆性材料から成る部材に割れを生じることなく、部材と基板との位置合わせを高精度、かつ容易に行うことができる。
Claim (excerpt):
脆性材料から成る一方の部材と上記部材を実装する他方の部材とを固定する際に、上記一方の部材の表面に可撓性を有する膜を設け、また、上記他方の部材上に可撓性を有する支柱を設けて、上記膜と上記支柱とを接合して上記2つの部材を超音波により固定することを特徴とする脆性材料の固定方法。
IPC (2):
H01L 23/04 ,  H01S 3/109

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