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J-GLOBAL ID：200903005265654573

光偏向器

Inventor： 八木 隆行 ,  中山 優 ,  島田 康弘 ,  高松 修 ,  平井 裕 ,  能瀬 博康 ,  新庄 克彦
Applicant, Patent owner： キヤノン株式会社
Agent (1)： 日比谷 征彦
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1991246679
Publication number (International publication number)：1993060993
Application date： Aug. 31, 1991
Publication date： Mar. 12, 1993
Summary：

【要約】【目的】 1つの光偏向部を2軸廻りに偏向可能とする。【構成】 回転軸の重心位置が同一になるように設けられた反射板28及び内枠25は、それぞれ可撓梁26、27及び可撓梁23、24によって支持され、これらの反射板28、内枠25は下方に設けられた固定電極31、32の一方、又は固定電極33、34の一方に電圧を印加すると、静電気力を受けて可撓梁23、24、26、27を軸として回転する。

Claim (excerpt)：

2つの回転軸を有する複数の可動部の各回転軸の重心位置を同一とし、前記回転軸上に前記可動部を回転支持するための2組の可撓梁をそれぞれ設け、前記可動部の下面に空隙を介して対向する複数の固定電極を設け、これら固定電極に電圧を印加して前記可撓梁を軸として前記可動部を回転し、前記可動部の一部を反射面として光偏向を行うことを特徴とする光偏向器。

IPC (3)：

G02B 26/10 101 ,  H01L 21/302 ,  H04N 7/22

Patent cited by the Patent：

Cited by examiner (3)

• 特開昭56-140316
  
• 特開昭60-107017
  
• 特開平4-211217