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J-GLOBAL ID：200903005267083646
ビーム位置検出器
Inventor：
Applicant, Patent owner：
Agent (1)：
曾我 道照 (外6名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1991283189
Publication number (International publication number)：1993121196
Application date： Oct. 29, 1991
Publication date： May. 18, 1993
Summary：
【要約】【目的】 構成が簡単で、調整及び校正作業等の時間が短縮されたビーム位置検出器を得る。【構成】 真空槽1の側壁に所定の位置関係で設けられた3個の電圧検出部2を用い、1個の電圧検出部2は真空槽1の中心を通る鉛直軸上に設け、残りの2個の電圧検出部2は上記1個の電圧検出部2に対向し且つ上記鉛直軸に対して対称な位置に設け、荷電ビーム4の鉛直及び水平位置を測定する。
Claim (excerpt)：
真空槽の側壁に所定の位置関係で設けられた3個の電圧検出部を備え、該電圧検出部を用いて荷電ビームの鉛直及び水平位置を測定するようにしたことを特徴とするビームする位置検出器。
IPC (2)：
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