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J-GLOBAL ID：200903005277887778

位置検出装置及びそれを用いたデバイスの製造方法

Inventor： 大沢 大 ,  千徳 孝一
Applicant, Patent owner： キヤノン株式会社
Agent (1)： 高梨 幸雄
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1998210389
Publication number (International publication number)：2000031031
Application date： Jul. 09, 1998
Publication date： Jan. 28, 2000
Summary：

【要約】【課題】 マスクとウエハとの相対的位置決めを高精度に行うことのできる位置検出装置及びそれを用いたデバイスの製造方法を得ること。【解決手段】 第1物体面上と第2物体面上に各々物理光学素子を形成し、このうち一方の物理光学素子に投光手段から光を入射させたときに生ずる回折光を他方の物理光学素子に入射させ、該他方の物理光学素子により生ずる回折光の所定面上における位置情報を検出手段により検出することにより、該第1物体と第2物体との相対的な位置検出を行う際、該投光手段は波長の異なった複数の光束を放射する波長可変光源を有していること。

Claim (excerpt)：

第1物体面上と第2物体面上に各々物理光学素子を形成し、このうち一方の物理光学素子に投光手段から光を入射させたときに生ずる回折光を他方の物理光学素子に入射させ、該他方の物理光学素子により生ずる回折光の所定面上における位置情報を検出手段により検出することにより、該第1物体と第2物体との相対的な位置検出を行う際、該投光手段は波長の異なった複数の光束を放射する波長可変光源を有していることを特徴とする位置検出装置。

IPC (3)：

H01L 21/027 ,  G01B 11/00 ,  G03F 9/00

FI (4)：

H01L 21/30 522 D ,  G01B 11/00 G ,  G03F 9/00 H ,  H01L 21/30 525 F

F-Term (23)：

2F065AA20 ,  2F065BB02 ,  2F065BB27 ,  2F065CC20 ,  2F065DD02 ,  2F065FF01 ,  2F065FF48 ,  2F065GG04 ,  2F065GG06 ,  2F065GG07 ,  2F065GG23 ,  2F065GG25 ,  2F065JJ02 ,  2F065JJ05 ,  2F065JJ25 ,  2F065LL43 ,  2F065NN06 ,  2F065NN08 ,  2F065PP12 ,  5F046CA07 ,  5F046DB05 ,  5F046ED01 ,  5F046FA06