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J-GLOBAL ID：200903005279395961

基板回転装置

Inventor： 中島 泰秀 ,  宮川 俊二 ,  村上 慎一郎 ,  竹本 潤
Applicant, Patent owner： 大日本印刷株式会社
Agent (1)： 米田 潤三 (外1名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1996267997
Publication number (International publication number)：1998085652
Application date： Sep. 18, 1996
Publication date： Apr. 07, 1998
Summary：

【要約】【課題】 基板の裏面の洗浄を簡便かつ確実に行うことができる基板回転装置を提供する。【解決手段】 チャック台は駆動部により回転可能とし、このチャック台を、基板を保持するための上平板と、この上平板の下面中央に接続されたシャフト部とを有するものとし、上平板の上面部に吸引孔を設け、上平板の周縁部に少なくとも1つのノズル支持部材を突設し、このノズル支持部材に洗浄液噴射ノズルを備えることにより基板回転装置とする。

Claim 1：

基板を保持するための上平板と該上平板の下面中央に接続されたシャフト部とを有する回転可能なチャック台と、該チャック台を回転させる駆動部とを備え、前記チャック台は上平板の上面部に吸引孔を備え、かつ、上平板の周縁部には少なくとも1つのノズル支持部材が突設され、該ノズル支持部材には洗浄液噴射ノズルが備えられていることを特徴とする基板回転装置。

IPC (3)：

B05C 11/08 ,  G03F 7/16 502 ,  G03F 7/30 502

FI (3)：

B05C 11/08 ,  G03F 7/16 502 ,  G03F 7/30 502