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J-GLOBAL ID：200903005292170820

基板位置ずれ検出装置および基板位置ずれ検出方法

Inventor： 西川 秀雄
Applicant, Patent owner： 日本電産リード株式会社
Agent (1)： 古谷 栄男 (外2名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1997121829
Publication number (International publication number)：1998311861
Application date： May. 13, 1997
Publication date： Nov. 24, 1998
Summary：

【要約】【課題】 簡単な構造で非接触にて、導通テストを行うプリント基板の位置ズレを検出する。【解決手段】 位置検出電極S1、S2は、対向する基板のプリントパターン34aのほぼ中心線であってY軸に平行な線Lx上の任意の点pxに対して点対象で配置されている。位置検出電極S3、S4についても同様である。プローブ選択スイッチ部SW11は、プローブ選択信号が、位置検出センサ選択スイッチ部SW12は、位置検出電極S1〜S4のいずれかを選択する信号が与えられる。位置検出電極S1とプリントパターン34aの対向状態によって、検出される電圧が変動する。このように、位置検出電極S1〜S4それぞれとプリントパターン34aとの対向関係を検知することにより、位置ずれを検出できる。

Claim (excerpt)：

検査対象の基板と基板検査装置との間の位置ずれを検出する装置であって、前記検査対象の基板の配線と対向して設けられた電極との対向状態によって変動する静電容量に基づいて、前記位置ずれを検出すること、を特徴とする基板位置ずれ検出装置。

IPC (2)：

G01R 31/02 ,  G01R 27/26

FI (2)：

G01R 31/02 ,  G01R 27/26 C

Patent cited by the Patent：

Cited by examiner (2)

• 特開昭61-250568
  
• 特開昭63-181393