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J-GLOBAL ID：200903005304453564
自動焦点検出装置
Inventor：
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Applicant, Patent owner：
Agent (1)：
鈴江 武彦
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1991089028
Publication number (International publication number)：1993093845
Application date： Mar. 29, 1991
Publication date： Apr. 16, 1993
Summary：
【要約】【目的】低倍率から高倍率まで安定した高精度な合焦点検出が可能な自動焦点検出装置を提供することを目的とする。【構成】対物レンズ2が低倍率のときには、予定焦点面前方及び後方の位置に形成される光像の2画像のコントラストの差により合焦点を検出し、対物レンズ2が高倍率のときには、対物レンズ2及び試料1を光軸方向に移動させ2画像のうち、一方又は両方についてのコントラストの合焦度評価値の変化により合焦点を検出することを特徴とする。
Claim (excerpt)：
試料を観察するための対物光学系とこの対物光学系によって形成された前記試料からの光像を少なくとも1つのイメージセンサにより光電変換し、前記光像のコントラスト等を評価することにより合焦点を検出する装置において、予定焦点面前方の所定距離だけ離れた位置に形成される光像及び予定焦点面後方の所定距離だけ離れた位置に形成される光像との2画像を前記イメージセンサ上に投影し、対物レンズが低倍率のときには前記2画像のコントラスト等の差により合焦点を検出し、対物レンズが高倍率のときには対物レンズまたは前記試料を光軸方向に移動させ、前記2画像のうち、一方または両方についてのコントラスト等の合焦度評価値の変化により合焦点を検出するようにしたことを特徴とする自動焦点検出装置。
IPC (3)：
G02B 7/28
, G01C 3/06
, G02B 21/00
Cited by examiner (5)
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