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J-GLOBAL ID:200903005345211788

端面研磨装置における搬送部材の支持機構

Inventor:
Applicant, Patent owner:
Agent (1): 中林 幹雄
Gazette classification:公開公報
Application number (International application number):1998357891
Publication number (International publication number):2000183135
Application date: Dec. 16, 1998
Publication date: Jun. 30, 2000
Summary:
【要約】【課題】 ウエハの受取り、および受渡しを行うとともに、水平方向に搬送する搬送部材を、水平方向に円滑に、かつ、短時間で移動させることができる端面研磨装置における搬送部材の支持機構を提供する。【解決手段】 基板に、上下方向に間隔を置くとともに、水平方向に延びる突出部と、ねじ軸とを配設し、可動板に、この突出部と係合する係合部と、前記ねじ軸に螺合するねじ孔を有するねじ部材と配設し、駆動源で前記ねじ軸を回転した時前記可動板は突出部および係合部の作用によって水平方向に移動するようにした。
Claim 1:
カセット内のウエハを搬送部材で受け取ってアライナに搬送し、こののちノッチ研磨装置で研磨したウエハを搬送部材で順次受け取って周面研磨部の周面研磨装置に搬送し、また、周面研磨部で周面を研磨したウエハを搬送部材で順次受け取って排出部に搬送するようにした端面研磨装置において、前記搬送部材を水平方向に移動させる支持機構を配設し、該支持機構は、水平方向に延びる突出部と、該突出部と平行となっているとともに、駆動源によって回転駆動されるねじ軸とが配設された基板を有し、さらに、前記突出部と係合する係合部と、ねじ軸と螺合するねじ孔を有するねじ部材とを有する可動板を具え、該可動板に前記搬送部材が取付けられることを特徴とする端面研磨装置における搬送部材の支持機構。
IPC (5):
H01L 21/68 ,  B24B 7/17 ,  B24B 9/00 601 ,  H01L 21/304 622 ,  H01L 21/304
FI (5):
H01L 21/68 G ,  B24B 7/17 Z ,  B24B 9/00 601 H ,  H01L 21/304 622 Y ,  H01L 21/304 622 L
F-Term (27):
3C049AA07 ,  3C049AA12 ,  3C049AA16 ,  3C049AA18 ,  3C049AB01 ,  3C049AB08 ,  3C049AC01 ,  3C049AC04 ,  3C049BB04 ,  3C049CA01 ,  3C049CB03 ,  5F031CA02 ,  5F031DA01 ,  5F031DA17 ,  5F031FA01 ,  5F031FA11 ,  5F031FA12 ,  5F031FA20 ,  5F031FA22 ,  5F031GA08 ,  5F031GA10 ,  5F031GA13 ,  5F031GA44 ,  5F031GA47 ,  5F031GA48 ,  5F031GA49 ,  5F031MA22

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