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J-GLOBAL ID：200903005348223914
基板保持機構、基板搬送装置および基板処理装置
Inventor：
Applicant, Patent owner：
Agent (1)：
吉田 茂明 (外2名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1997053054
Publication number (International publication number)：1998245123
Application date： Mar. 07, 1997
Publication date： Sep. 14, 1998
Summary：
【要約】【課題】 基板を安定して保持することができる基板保持機構を提供する。【解決手段】 複数の基板Wを起立姿勢にて保持する保持台232において、基板Wの外縁部が当接する部位に基板Wを保持するための溝Gを形成するとともに、これらの溝Gの形状を基板Wが所定方向に僅かに傾くような形状とする。これにより、例えば、保持台232を基板保持機構の一構成要素として有し、この基板保持機構にて基板Wを保持して搬送する基板搬送装置などにおいて、基板Wががたつくことなく安定して保持されて搬送されることとなる。その結果、隣り合う基板Wが互いに接触してしまうことがなく、基板Wの破損やパーティクルの発生を防ぐことができる。
Claim 1：
複数の基板を起立姿勢にて保持する保持機構であって、当接部位において前記複数の基板の外縁部に当接することにより前記複数の基板を保持する保持部材、を備え、前記保持部材の前記当接部位に、前記複数の基板を所定の方向に傾いた起立姿勢にて保持する複数の凹凸面が形成されていることを特徴とする基板保持機構。
IPC (2)：
FI (2)：
B65G 49/07 E
, H01L 21/68 V
