蒸着方法

Inventor：
Applicant, Patent owner：
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：2001199739
Publication number (International publication number)：2003013202
Application date： Jun. 29, 2001
Publication date： Jan. 15, 2003
Summary：

【要約】【課題】多層薄膜の密着強度、耐久性、及び光学特性に優れた積層体を提供すること。【解決手段】酸化タンタルを主成分とする蒸着組成物を、蒸着装置外で予め10分以上溶融状態で保持した後に固化させた材料を用い、被着体上に、真空蒸着法により酸化タンタルを主成分とする層(A)含む多層膜を蒸着する。

Claim (excerpt)：

【請求項1】酸化タンタルを主成分とする蒸着用組成物を、10分以上溶融状態で保持した後に固化させ、次いで、固化させた前記組成物を用いて真空蒸着法により、被着体上に酸化タンタルを主成分とする層(A)を形成することを特徴とする蒸着方法。

IPC (6)：

C23C 14/08 , C08J 7/06 CER , C08J 7/06 CEZ , C23C 14/24 , G02B 1/11 , C08L101:00

FI (6)：

C23C 14/08 G , C08J 7/06 CER Z , C08J 7/06 CEZ , C23C 14/24 E , C08L101:00 , G02B 1/10 A

F-Term (27)：

2K009AA08 , 2K009BB13 , 2K009BB14 , 2K009BB24 , 2K009CC02 , 2K009CC03 , 2K009DD03 , 2K009DD04 , 2K009DD07 , 4F006AA12 , 4F006AA15 , 4F006AA22 , 4F006AA31 , 4F006AA35 , 4F006AA36 , 4F006AA38 , 4F006AA40 , 4F006AB74 , 4F006CA05 , 4F006DA01 , 4K029AA11 , 4K029BA43 , 4K029BA46 , 4K029BB02 , 4K029BC07 , 4K029CA01 , 4K029DB05

Patent cited by the Patent：

Cited by examiner (4)

光学部材、及び光学部品
Gazette classification：公開公報 Application number：特願平5-094967 Applicant：日本ゼオン株式会社
特開平3-210501
蒸着材料及び該蒸着材料を用いた光学薄膜の製造方法
Gazette classification：公開公報 Application number：特願平4-066041 Applicant：キヤノン株式会社, 株式会社オプトロン

Show all

Return to Previous Page