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J-GLOBAL ID:200903005349957750

蒸着方法

Inventor:
Applicant, Patent owner:
Gazette classification:公開公報
Application number (International application number):2001199739
Publication number (International publication number):2003013202
Application date: Jun. 29, 2001
Publication date: Jan. 15, 2003
Summary:
【要約】【課題】多層薄膜の密着強度、耐久性、及び光学特性に優れた積層体を提供すること。【解決手段】酸化タンタルを主成分とする蒸着組成物を、蒸着装置外で予め10分以上溶融状態で保持した後に固化させた材料を用い、被着体上に、真空蒸着法により酸化タンタルを主成分とする層(A)含む多層膜を蒸着する。
Claim 1:
【請求項1】 酸化タンタルを主成分とする蒸着用組成物を、10分以上溶融状態で保持した後に固化させ、次いで、固化させた前記組成物を用いて真空蒸着法により、被着体上に酸化タンタルを主成分とする層(A)を形成することを特徴とする蒸着方法。
IPC (6):
C23C 14/08 ,  C08J 7/06 CER ,  C08J 7/06 CEZ ,  C23C 14/24 ,  G02B 1/11 ,  C08L101:00
FI (6):
C23C 14/08 G ,  C08J 7/06 CER Z ,  C08J 7/06 CEZ ,  C23C 14/24 E ,  C08L101:00 ,  G02B 1/10 A
F-Term (27):
2K009AA08 ,  2K009BB13 ,  2K009BB14 ,  2K009BB24 ,  2K009CC02 ,  2K009CC03 ,  2K009DD03 ,  2K009DD04 ,  2K009DD07 ,  4F006AA12 ,  4F006AA15 ,  4F006AA22 ,  4F006AA31 ,  4F006AA35 ,  4F006AA36 ,  4F006AA38 ,  4F006AA40 ,  4F006AB74 ,  4F006CA05 ,  4F006DA01 ,  4K029AA11 ,  4K029BA43 ,  4K029BA46 ,  4K029BB02 ,  4K029BC07 ,  4K029CA01 ,  4K029DB05
Patent cited by the Patent:
Cited by applicant (4)
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Cited by examiner (4)
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