光学系のピント評価方法、調整方法、ピント評価装置、調整装置、およびチャート装置

Inventor： ,
Applicant, Patent owner：
Agent (1)：三浦邦夫
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1994228263
Publication number (International publication number)：1996068721
Application date： Sep. 22, 1994
Publication date： Mar. 12, 1996
Summary：

【要約】【目的】最良像面位置の評価が簡単に、短時間でできる最良像面位置の評価方法および評価装置を提供すること【構成】エッジ像13iを形成可能なチャート板11と、このチャート板11を結像する光学系15と、この光学系15により上記チャート板11のエッジ像13iが結像される位置ないしその近傍に配置した、エッジ像13iを電気信号に変換する受光部材17と、上記受光部材17が出力する電気信号を、上記エッジ像と交差する方向にサンプリングするサンプリング回路とを備えたこと。

Claim (excerpt)：

エッジ像を形成可能なチャート部材と、このチャート部材を結像する光学系と、この光学系により上記チャート部材のエッジ像が結像される位置ないしその近傍に配置した、上記エッジ像を電気信号に変換する受光手段と、上記受光手段が出力する電気信号を、上記エッジ像と交差する方向にサンプリングするサンプリング手段と、を備えていることを特徴とする光学系のピント評価装置。

Patent cited by the Patent：

Cited by applicant (6)

特開平2-051038
特開昭63-094212
特開昭62-174626

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Cited by examiner (12)

特開平2-051038
特開平2-051038
特開昭63-094212

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