Pat

J-GLOBAL ID：200903005367789600

試料解析装置

Inventor： 桑原 章二
Applicant, Patent owner： 株式会社島津製作所
Agent (1)： 塩野入 章夫
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：2001119235
Publication number (International publication number)：2002310954
Application date： Apr. 18, 2001
Publication date： Oct. 23, 2002
Summary：

【要約】【課題】 試料上において目的とする測定位置や分析位置を容易に見つける。【解決手段】 試料を測定あるいは分析することによって試料解析を行う装置であって、平面上の移動を行う試料ステージ4と、解析対象の試料の透過X線像に基づいて解析位置を定め、当該解析位置の位置データを求める位置算出手段3とを備えた構成とし、試料ステージ4は、位置算出手段3による位置データに基づいて移動し、試料上の解析位置を位置決めする。試料の透過X線像を観察することによって目的とする測定位置や分析位置を容易に見つけ、これによって解析時間を短縮するものである。

Claim (excerpt)：

試料を測定あるいは分析することによって試料解析を行う装置であって、平面上の移動を行う試料ステージと、解析対象の試料の透過X線像に基づいて解析位置を定め、当該解析位置の位置データを求める位置算出手段とを備え、前記試料ステージは、前記位置算出手段による位置データに基づいて移動し、試料上の解析位置に位置決めすることを特徴とする試料解析装置。

IPC (3)：

G01N 23/223 ,  G01N 23/04 ,  G01N 23/225

FI (3)：

G01N 23/223 ,  G01N 23/04 ,  G01N 23/225

F-Term (15)：

2G001AA01 ,  2G001AA03 ,  2G001BA04 ,  2G001BA08 ,  2G001BA11 ,  2G001BA14 ,  2G001CA01 ,  2G001CA03 ,  2G001FA06 ,  2G001GA01 ,  2G001GA04 ,  2G001HA13 ,  2G001JA11 ,  2G001JA13 ,  2G001KA01