ポリイミドフィルム-金属薄膜の複合フィルムの製造方法

Inventor：
Applicant, Patent owner：
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1997205349
Publication number (International publication number)：1999029852
Application date： Jul. 14, 1997
Publication date： Feb. 02, 1999
Summary：

【要約】【目的】ポリイミドフィルムと金属薄膜の接着力を改善し、かつ、接着剤を使用しないでポリイミドフィルム-金属薄膜の複合フィルムを製造する方法を提供する。【構成】ポリイミドフィルム-金属薄膜の複合フィルムの製造方法は、ポリイミドフィルムの表面をプラズマ処理する工程、プラズマ処理したポリイミドフィルムをイミダール基を含むシランカップリング剤のイミダゾールシラン溶液でカップリング処理する工程、およびカップリング処理したポリイミドフィルム表面に金属をスパッタリングまたは蒸着することによって金属薄膜を形成する工程よりなる。

Claim (excerpt)：

ポリイミドフィルムの表面をプラズマ処理する工程、該プラズマ処理したポリイミドフィルムをイミダゾール基を含むシランカップリング剤のイミダゾールシラン溶液でカップリング処理する工程、および該カップリング処理したポリイミドフィルム表面に金属をスパッタリングまたは蒸着することによって金属薄膜を形成する工程よりなることを特徴とするポリイミドフィルム-金属薄膜の複合フィルムの製造方法。

Patent cited by the Patent：

Cited by examiner (3)

有機質基材表面への金属膜形成方法
Gazette classification：公開公報 Application number：特願平7-217106 Applicant：松下電工株式会社
銅箔の処理方法
Gazette classification：公開公報 Application number：特願平6-123643 Applicant：株式会社ジャパンエナジー
ポリイミドフィルム・金属箔複合フィルムの製造方法
Gazette classification：公開公報 Application number：特願平5-124636 Applicant：株式会社巴川製紙所

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