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J-GLOBAL ID：200903005378024886

磁気記録媒体保護膜の製造方法およびその製造装置

Inventor： 銭谷 利宏 ,  日比野 直樹 ,  稲川 幸之助 ,  太田 賀文 ,  中村 久三
Applicant, Patent owner： 日本真空技術株式会社
Agent (1)： 北村 欣一 (外2名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1996067876
Publication number (International publication number)：1997259431
Application date： Mar. 25, 1996
Publication date： Oct. 03, 1997
Summary：

【要約】【課題】 蒸着磁気テープの保護膜として、耐摩耗・摩擦特性に優れたDLC膜を極めてはやい速度で形成すること。【解決手段】 排気系を有する真空糟内で磁気記録媒体が形成されたテープを移送しながらその上にダイヤモンド状炭素膜を形成する際に、原料炭化水素ガスの分解を促進するためのプラズマ増強手段として該テープ表面近傍に磁場を発生させ、それにより捕捉された電子と原料炭化水素ガスとの衝突回数を多くして、該ダイヤモンド状炭素膜の形成速度を大きくし、また、該テープを移送するための主ローラーに高周波電位を印加し、該主ローラーと陽極との間に放電を起こさせて、原料炭化水素ガスを分解させ、該テープ表面には負の自己バイアス電圧を生じさせ、炭化水素イオン種や炭素イオン及び水素イオンを引きつけて、緻密なダイヤモンド状炭素膜を形成する。

Claim (excerpt)：

磁気記録媒体が形成されたテープ上に保護膜としてダイヤモンド状炭素膜を形成するための製造方法において、排気系を有する真空糟内で該テープを移送しながらその上に該ダイヤモンド状炭素膜を形成する際に、原料炭化水素ガスの分解を促進するためのプラズマ増強手段として該テープ表面近傍に磁場を発生させ、それにより捕捉された電子と原料炭化水素ガスとの衝突回数を多くして、該ダイヤモンド状炭素膜の形成速度を大きくし、また、該テープを移送するための主ローラーに高周波電位を印加し、該主ローラーと陽極との間に放電を起こさせて、原料炭化水素ガスを分解させ、該テープ表面には負の自己バイアス電圧を生じさせ、炭化水素イオン種や炭素イオン及び水素イオンを引きつけて、緻密なダイヤモンド状炭素膜を形成することを特徴とする磁気記録媒体保護膜の製造方法。

IPC (5)：

G11B 5/84 ,  C01B 31/02 101 ,  C23C 16/26 ,  C23C 16/50 ,  C30B 29/04

FI (5)：

G11B 5/84 B ,  C01B 31/02 101 Z ,  C23C 16/26 ,  C23C 16/50 ,  C30B 29/04 X