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J-GLOBAL ID：200903005378780184

単結晶ウエハ及びその製造方法

Inventor： 片岡 明彦
Applicant, Patent owner： 京セラ株式会社
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：2000399115
Publication number (International publication number)：2002198762
Application date： Dec. 27, 2000
Publication date： Jul. 12, 2002
Summary：

【要約】【課題】 分極成分による応力を支配的にし、結晶加工時における分極成分による応力による形状を支配的にすることで、反りのばらつきが小さく且つ反り量の小さい高精度な単結晶ウエハ及びその製造方法を提供すること。【解決手段】 タンタル酸リチウムの単結晶から成るウエハの表裏主面が正負に電気的に分極され、正に分極された主面が凹形状であるとともに、負に分極された主面が凸形状である単結晶ウエハとする。

Claim (excerpt)：

タンタル酸リチウムの単結晶から成るウエハの表裏主面が正負に電気的に分極され、正に分極された主面が凹形状であるとともに、負に分極された主面が凸形状であることを特徴とする単結晶ウエハ。

IPC (4)：

H03H 3/08 ,  C30B 29/30 ,  C30B 33/02 ,  H03H 9/25

FI (4)：

H03H 3/08 ,  C30B 29/30 B ,  C30B 33/02 ,  H03H 9/25 C

F-Term (10)：

4G077AA02 ,  4G077BC37 ,  4G077FE11 ,  5J097AA28 ,  5J097AA31 ,  5J097EE01 ,  5J097GG03 ,  5J097GG09 ,  5J097HA01 ,  5J097HA06