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J-GLOBAL ID：200903005382097979

放電用容器

Inventor： 会田 比呂史
Applicant, Patent owner： 京セラ株式会社
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1995335119
Publication number (International publication number)：1997180627
Application date： Dec. 22, 1995
Publication date： Jul. 11, 1997
Summary：

【要約】【課題】石英、ガラスあるいはSi3 N4 、SiCなどのシリコン化合物からなる放電用容器では、フッ素(F)等が存在するプラズマ中では、耐プラズマ性が低く、プラズマにより表面がエッチングされ、消耗が激しかった。【解決手段】プラズマを内部に発生させる放電用容器1であって、容器壁2の内面の少なくともプラズマに接する表面を、周期律表第2a族元素の単体またはその化合物により形成する。特に、金属、ガラスまたはセラミックスを基体とし、その内面のプラズマと接する表面に、周期律表第2a族元素単体またはその化合物からなる被覆層4を0.001〜1mmの厚みで形成する。

Claim (excerpt)：

内部にプラズマを発生させる放電用容器であって、該容器壁の内面の少なくともプラズマに接する表面が、周期律表第2a族元素の単体またはその化合物からなることを特徴とする放電用容器。

Patent cited by the Patent：

Cited by examiner (1)

• 放電装置
  Gazette classification：公開公報   Application number：特願平4-118437   Applicant：株式会社ノリタケカンパニーリミテド